故障分析
如果客戶發生問題，我們將徹底的調查分析、尋找原因、實施對策，防止再發。當產品開發過程中以及合作夥伴的生產過程中發生問題，我們也會隨時實施故障分析，力圖改善。
故障分析設備
| 使用目的 | 設備名稱 |
|---|---|
| 不良位置的確認 | ELITE（Enhanced Lock-In Thermal Emission） |
| EMS（Emission Microscope） | |
| OBIRCH（雷射光束電阻） | |
| OBIC（光致電流） | |
| TDR（Time Domain Reflectometry） | |
| EBAC（Electron Beam Absorbed Current） | |
| 手動探針 | |
| 研磨 / 蝕刻 | 電漿蝕刻機 |
| 研磨設備 | |
| 清洗設備（酸,HF,有機） | |
| 精密研磨系統（CMP設備） | |
| 觀察 | SEM（Scanning Electron Microscope）＋元素分析儀（EDX） |
| FIB（Focused Ion Beam machine） | |
| X光-CT檢查儀 | |
| SAT（Scanning Acoustic Tomography） | |
| 光學顯微鏡（實體、金屬顯微鏡、IR） | |
| 其他 | LSI測試儀+熱電流 |
| 半導體參數分析儀 | |
| 雷射刀 | |
| 塑膠模具開模設備 |
●故障分析設備例
